Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 衍射光栅机械刻划成槽的预控试验 | |
| 张宝庆; 史国权; 石广丰; 蔡洪彬; 张善文 | |
| 2013-07-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 07页码:1666-1675 |
| 摘要 | 由于目前机械刻划衍射光栅加工仍依赖操作者经验,故存在成槽质量差、无法预控等问题。本文结合铝薄膜蒸镀工艺现状,采用X射线衍射法(XRD)、扫描电子显微镜法(SEM)及纳米压痕实验揭示不同薄膜样本的微观结构与力学属性,提出了制作衍射光栅的薄膜分类试刻法。研究结果表明,光栅刻划过程可近似等效为楔体下压过程,对低弹性模量类薄膜,可采用滑移线场进行解析求解并一次试刻成槽;对弹塑性类薄膜,可采用有限元模拟实验进行成槽预控。该方法可预先对薄膜甄别分类,用不同的计算方法确定不同种类薄膜的工装参数,进而刻划出近乎完美的槽形;同时减少了试验刻划耗时与浪费,提高了成槽质量与刻划效率;为刻划更加精密的光栅奠定了基础。 |
| 关键词 | 衍射光栅 机械刻划 成槽工艺 预控技术 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38807 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张宝庆,史国权,石广丰,等. 衍射光栅机械刻划成槽的预控试验[J]. 光学精密工程,2013(07):1666-1675. |
| APA | 张宝庆,史国权,石广丰,蔡洪彬,&张善文.(2013).衍射光栅机械刻划成槽的预控试验.光学精密工程(07),1666-1675. |
| MLA | 张宝庆,et al."衍射光栅机械刻划成槽的预控试验".光学精密工程 .07(2013):1666-1675. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 衍射光栅机械刻划成槽的预控试验.caj（885KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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