Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 | |
高飒飒; 卢启鹏 ; 彭忠琦; 龚学鹏
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| 2013-07-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
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| 期号 | 07页码:1741-1747 |
| 摘要 | 针对上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线对狭缝精度的要求,提出了一种应用于超高真空的精密四刀狭缝机构及热缓释方案。给出了四刀狭缝机构的工作原理,其四个缝片独立运动,采用线性驱动装置及精密直线导轨来实现开合。根据XIL光束线的特点,设计了一种合理有效的热缓释方案,对缝片进行了热-结构耦合分析。对狭缝的精度指标进行了测试。结果显示:该四刀狭缝的分辨率优于0.1μm、运动重复精度优于2μm、刀口直线度优于2.5μm、平行度优于0.5mrad,可以精确实现狭缝在水平和垂直方向-5～250μm的开度,缝片在热负载下的最大热变形控制在0.034μm。得到的结果表明,该精密四刀狭缝具有高的精度和稳定性,可满足XIL光束线的使用要求,现已实际使用并制备出了100nm周期的刻蚀线结构。 |
| 关键词 | X射线干涉光刻光束线 精密狭缝 四刀结构 重复精度 有限元分析 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38779 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高飒飒,卢启鹏,彭忠琦,等. 超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析[J]. 光学精密工程,2013(07):1741-1747. |
| APA | 高飒飒,卢启鹏,彭忠琦,&龚学鹏.(2013).超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析.光学精密工程(07),1741-1747. |
| MLA | 高飒飒,et al."超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析".光学精密工程 .07(2013):1741-1747. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分（821KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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