Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究 | |
谢耀![]() | |
2013-08-25 | |
发表期刊 | 红外与激光工程
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期号 | 08页码:2036-2040 |
摘要 | 为了提高毛细管放电类氖氩46.9 nm软X射线激光的强度,研究了工作介质中气体的掺杂对激光强度的影响。研究表明,在纯Ar中掺入适量的He显著地提高了激光的输出强度。通过对比在Ar中掺入Ne、N2以及Kr等其他气体的实验,系统地分析了He的掺入对等离子温度的影响,找到了在特定工作气压下最佳的掺杂比,有利于进一步提高毛细管放电46.9 nm软X射线激光的强度。在放电等离子体极紫外光刻(EUVL)光源研究过程中,也采用了在Xe中掺入适量He的方式以提高13.5 nm的输出强度。 |
关键词 | 毛细管 软x射线激光 Xrd Rowland谱仪 类氖氩 |
收录类别 | CNKI |
语种 | 中文 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38761 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 谢耀,赵永蓬,王骐. 提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究[J]. 红外与激光工程,2013(08):2036-2040. |
APA | 谢耀,赵永蓬,&王骐.(2013).提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究.红外与激光工程(08),2036-2040. |
MLA | 谢耀,et al."提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究".红外与激光工程 .08(2013):2036-2040. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
提高毛细管放电类氖氩46_9nm软X射线(734KB) | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 |
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