提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究

	提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究
	谢耀; 赵永蓬; 王骐
	2013-08-25
发表期刊	红外与激光工程
期号	08 页码:2036-2040
摘要	为了提高毛细管放电类氖氩46.9 nm软X射线激光的强度,研究了工作介质中气体的掺杂对激光强度的影响。研究表明,在纯Ar中掺入适量的He显著地提高了激光的输出强度。通过对比在Ar中掺入Ne、N2以及Kr等其他气体的实验,系统地分析了He的掺入对等离子温度的影响,找到了在特定工作气压下最佳的掺杂比,有利于进一步提高毛细管放电46.9 nm软X射线激光的强度。在放电等离子体极紫外光刻(EUVL)光源研究过程中,也采用了在Xe中掺入适量He的方式以提高13.5 nm的输出强度。
关键词	毛细管软x射线激光 Xrd Rowland谱仪类氖氩
收录类别	CNKI
语种	中文
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38761
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	谢耀,赵永蓬,王骐. 提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究[J]. 红外与激光工程,2013(08):2036-2040.
APA	谢耀,赵永蓬,&王骐.(2013).提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究.红外与激光工程(08),2036-2040.
MLA	谢耀,et al."提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究".红外与激光工程 .08(2013):2036-2040.