Ritchey角精度对平面镜检测的影响的分析与验证

	Ritchey角精度对平面镜检测的影响的分析与验证
	朱硕; 张晓辉
	2013-06-10
发表期刊	光学学报
期号	06 页码:95-102
摘要	为进一步提高Ritchey-Common法的检测精度,分析了实验中Ritchey角精度对整体检测结果的影响。通过仿真模拟,分析并确定出最佳Ritchey角测试范围在20°～50°之间,此时面形误差检测结果精度可达0.01λ(λ=0.6328μm)。仿真过程中模拟Ritchey角存在误差时对检测结果的影响,当Ritchey角误差控制在±1°时,拟合结果与原始面形的残差降至0.0007λ,能够满足测试要求。针对Ritchey角测量存在误差的问题,利用测得系统光瞳面的图像压缩比例来计算Ritchey角大小,此方法的计算误差可控制在0.2°以内。实验中选择3个角度来检测,在数据处理时将测得数据两两组合进行解算。29.6°&47.8°组合拟合结果与Zygo干涉仪直接检测结果的残差的峰谷(PV)值为0.068λ、均方根(RMS)值为0.0105λ,证明Ritchey角的选择及其计算精度对检测整体精度具有一定影响。
关键词	测量光学检测 Ritchey-common 大口径平面镜检测精度
收录类别	CNKI
语种	中文
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38757
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	朱硕,张晓辉. Ritchey角精度对平面镜检测的影响的分析与验证[J]. 光学学报,2013(06):95-102.
APA	朱硕,&张晓辉.(2013).Ritchey角精度对平面镜检测的影响的分析与验证.光学学报(06),95-102.
MLA	朱硕,et al."Ritchey角精度对平面镜检测的影响的分析与验证".光学学报 .06(2013):95-102.

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