Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 全球面变焦距光刻系统设计 | |
吕博; 刘伟奇; 康玉思 ; 冯睿; 柳华; 魏忠伦
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| 2013-06-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 06页码:262-267 |
| 摘要 | 设计了一种采用全球面透镜并具有变焦距功能的光刻系统。系统具有4个机械变焦的位置,两片负透镜作为变倍组,两片正透镜作为移动补偿组,补偿在变焦过程中由于系统共轭距离变化造成的像面移动。该系统光学总长为653.67mm,系统采用的22片透镜元件,全部采用球面设计,同时系统中没有使用特种光学玻璃。该系统工作在光刻常用波长405nm下,其500lp/mm调制函数值在4个变焦位置和所有视场内均大于0.40,绝对畸变小于六分之一特征尺寸。设计结果表明该系统成像效果良好,制作成本低,适用于工作在刻蚀微米量级分辨率、变焦距双远心光刻系统中。 |
| 关键词 | 光学设计 变焦距光学系统 光刻物镜 球面设计 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38687 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕博,刘伟奇,康玉思,等. 全球面变焦距光刻系统设计[J]. 光学学报,2013(06):262-267. |
| APA | 吕博,刘伟奇,康玉思,冯睿,柳华,&魏忠伦.(2013).全球面变焦距光刻系统设计.光学学报(06),262-267. |
| MLA | 吕博,et al."全球面变焦距光刻系统设计".光学学报 .06(2013):262-267. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 全球面变焦距光刻系统设计.caj（821KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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