Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统 | |
代雷 ; 隋永新; 吴迪
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| 2013-08-25 | |
| 发表期刊 | 红外与激光工程
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| 期号 | 08页码:2221-2225 |
| 摘要 | 为了满足光学元件曲率半径精密检测的需求,设计了应用激光干涉方法的曲率半径精密检测系统,实现了对口径100~300 mm,曲率半径500~2 000 mm光学元件曲率半径的高精度,非接触式测量。并分析了影响曲率半径测量结果的各项不确定度,进行不确定度合成。最终完成曲率半径精密检测系统的装调,进行验证实验,曲率半径测量结果相对不确定度约7×10-6,满足了10×10-6的设计要求。 |
| 关键词 | 曲率半径测量 激光干涉 不确定度 干涉检验 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38627 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 代雷,隋永新,吴迪. 基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统[J]. 红外与激光工程,2013(08):2221-2225. |
| APA | 代雷,隋永新,&吴迪.(2013).基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统.红外与激光工程(08),2221-2225. |
| MLA | 代雷,et al."基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统".红外与激光工程 .08(2013):2221-2225. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统.c（892KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 请求全文 | |||
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