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基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统
代雷; 隋永新; 吴迪
2013-08-25
发表期刊红外与激光工程
期号08页码:2221-2225
摘要为了满足光学元件曲率半径精密检测的需求,设计了应用激光干涉方法的曲率半径精密检测系统,实现了对口径100~300 mm,曲率半径500~2 000 mm光学元件曲率半径的高精度,非接触式测量。并分析了影响曲率半径测量结果的各项不确定度,进行不确定度合成。最终完成曲率半径精密检测系统的装调,进行验证实验,曲率半径测量结果相对不确定度约7×10-6,满足了10×10-6的设计要求。
关键词曲率半径测量 激光干涉 不确定度 干涉检验
收录类别CNKI
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38627
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
代雷,隋永新,吴迪. 基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统[J]. 红外与激光工程,2013(08):2221-2225.
APA 代雷,隋永新,&吴迪.(2013).基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统.红外与激光工程(08),2221-2225.
MLA 代雷,et al."基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统".红外与激光工程 .08(2013):2221-2225.
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