用于月基极紫外(EUV)多层膜样片反射率测量的小型真空试验台

	用于月基极紫外(EUV)多层膜样片反射率测量的小型真空试验台
	刘世界; 尼启良; 陈波; 何玲平; 王海峰
	2013-05-05
发表期刊	电子测试
期号	09 页码:255-257
摘要	用于探月二期工程的极紫外相机采用多层膜反射镜作为光学元件,多层膜反射镜整镜镀膜之前需进行样片镀膜并检测从而完善并确定镀膜工艺。本文介绍了搭建的一台样片反射率测量的小型真空试验台。该试验台由激光等离子体(LPP)光源系统、Mcpherson247单色仪、真空样品室探测系统、数据采集及处理系统组成。工作波段为1～120nm,光谱辐射稳定性好于±1%/h,角分辨率误差为0.015°。用本实验台对多层膜样片进行不同波长反射率测量,测量入射角一定时对不同波长的反射率曲线,根据测量结果完善多层膜镀膜工艺。
关键词	极紫外多层膜反射率测量
收录类别	CNKI
语种	中文
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38624
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	刘世界,尼启良,陈波,等. 用于月基极紫外(EUV)多层膜样片反射率测量的小型真空试验台[J]. 电子测试,2013(09):255-257.
APA	刘世界,尼启良,陈波,何玲平,&王海峰.(2013).用于月基极紫外(EUV)多层膜样片反射率测量的小型真空试验台.电子测试(09),255-257.
MLA	刘世界,et al."用于月基极紫外(EUV)多层膜样片反射率测量的小型真空试验台".电子测试 .09(2013):255-257.

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