Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 6-PSS型光学元件精密轴向调节机构 | |
郭抗 ; 巩岩
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| 2013-10-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 10页码:2648-2655 |
| 摘要 | 设计了一种采用6-PSS型并联机构的光学元件精密轴向调节机构,以使光刻物镜中光学元件的调节行程达微米级,调节精度达纳米级。将6-PSS型并联机构中的6个移动副改进为3个,减少了驱动器的使用数量,提高了轴向调节机构的可靠性;设计了一种圆角薄柔性铰链结构作为6-PSS型并联机构中的球铰副,实现了轴向调节机构的结构一体化,简化了光机组件的装调过程,提高了机构的机械精度;利用空间矢量法分析了机构输入构件与输出构件之间的位置关系,推导出了机构的传动比表达式,为机构主要结构尺寸的选取提供了依据。轴向调节机构的验证试验结果表明:机构传动比的理论计算值接近于实测值;轴向调节机构的调节行程为74.4μm,调节精度在40nm以内,满足光刻物镜中光学元件轴向调节机构的使用需求。 |
| 关键词 | 光刻物镜 光学元件 调节机构 并联机构 一体化结构 6-pss |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38613 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭抗,巩岩. 6-PSS型光学元件精密轴向调节机构[J]. 光学精密工程,2013(10):2648-2655. |
| APA | 郭抗,&巩岩.(2013).6-PSS型光学元件精密轴向调节机构.光学精密工程(10),2648-2655. |
| MLA | 郭抗,et al."6-PSS型光学元件精密轴向调节机构".光学精密工程 .10(2013):2648-2655. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 6_PSS型光学元件精密轴向调节机构.c（587KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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