“LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统

	“LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统
	姜振华; 王挺峰; 郭劲
	2013-08-15
发表期刊	中国光学
期号	04 页码:544-550
摘要	为了满足激光诱导等离子体(LPP)体制下极紫外(EUV)光源对CO2激光器提出的稳定性需求,建立了简化的CO2激光传输系统模型,根据光束稳定性需求对光束功率、指向和位置的监测与控制方法进行了理论和实验研究。根据高功率CO2激光传输系统特点,在实验室内建立了上述光束监测和控制实验系统,包括光束功率控制模块、光束指向控制模块和光束参数监测模块,其中光束参数监测模块可实时测量光束功率、指向、尺寸及发散角等重要参数。仿真与实验结果表明:光束功率控制模块对线偏振激光功率的控制接近1%～100%,光束指向控制模块实现的光束指向稳定度在10μrad以内,可满足CO2激光驱动源的高稳定性要求。
关键词	极紫外光源 Co2激光器参数监测指向控制
收录类别	CNKI
语种	中文
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38609
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	姜振华,王挺峰,郭劲. “LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统[J]. 中国光学,2013(04):544-550.
APA	姜振华,王挺峰,&郭劲.(2013).“LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统.中国光学(04),544-550.
MLA	姜振华,et al."“LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统".中国光学 .04(2013):544-550.

条目包含的文件		下载所有文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
_LPP_EUV_光源中的高功率CO_2（450KB）			开放获取	CC BY-NC-ND	浏览下载