Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 增益-腔模失配型高温工作垂直腔面发射半导体激光器 | |
张建伟; 宁永强 ; 张星; 曾玉刚; 张建; 刘云; 秦莉; 王立军
| |
| 2013-05-10 | |
| 发表期刊 | 中国激光
 |
| 期号 | 05页码:6-13 |
| 摘要 | 理论分析了温度对垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)工作性能的影响,利用VCSEL的增益-腔模失配理论设计了适用于高温环境下工作的VCSEL外延结构并对该结构进行了外延生长及工艺制备。理论分析表明,采用势垒高度大于0.25eV的量子阱有源区结构可以缓解高温工作时器件的载流子泄漏问题。设计了室温下增益-腔模偏离为11nm的器件结构。理论分析表明,在320K时与器件腔模对应的增益谱波长具有最大的光增益,此时器件具有最小的阈值电流。对分布式布拉格反射镜(DBR)的反射率进行了优化以进一步减小器件阈值电流。采用了一种自平坦化的台面工艺结构制作了7、9、13μm三种不同氧化口径的器件,器件在室温下的阈值电流分别为1.95、2.53、2.9mA,最大出光功率分别为0.31、1.11、1.04mW,并且输出功率的高温稳定性较好。随工作温度的升高,器件阈值电流先减小后变大,在320～330K时器件阈值达到最小值,与理论分析一致。 |
| 关键词 | 激光器 垂直腔面发射半导体激光器 高温工作 增益-谐振腔腔模失配 自平坦化台面 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38529 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张建伟,宁永强,张星,等. 增益-腔模失配型高温工作垂直腔面发射半导体激光器[J]. 中国激光,2013(05):6-13. |
| APA | 张建伟.,宁永强.,张星.,曾玉刚.,张建.,...&王立军.(2013).增益-腔模失配型高温工作垂直腔面发射半导体激光器.中国激光(05),6-13. |
| MLA | 张建伟,et al."增益-腔模失配型高温工作垂直腔面发射半导体激光器".中国激光 .05(2013):6-13. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 增益_腔模失配型高温工作垂直腔面发射半导（816KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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