Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 超光滑加工中抛光液恒温供给系统设计与实现 | |
崔洋 ; 彭吉; 闫丰
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| 2013-02-15 | |
| 发表期刊 | 电子测量与仪器学报
 |
| 期号 | 02页码:173-178 |
| 摘要 | 围绕用于超光滑光学元件加工的抛光液恒温供给系统的设计和实现而展开,首先,从功能及性能上对系统进行需求分析。然后,给出了系统整体设计方案:采用去离子水作为热媒,使抛光液间接、被动、缓慢、均匀升温,并采用压缩机制冷方式,引入恒定的制冷量,使用PID控制算法使得抛光液的温度控制在恒定值,仿真结果表明该设计方案满足加工工艺提出的精度要求。最后,对搭建后的系统进行测试,在有/无外循环扰动的情况下温度稳定性均优于±0.02℃。系统运行稳定,确保抛光模型和加工去除函数的稳定性,从而进一步提升光学元件的加工精度。 |
| 关键词 | 光学制造 超光滑加工 循环温控系统 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38469 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 崔洋,彭吉,闫丰. 超光滑加工中抛光液恒温供给系统设计与实现[J]. 电子测量与仪器学报,2013(02):173-178. |
| APA | 崔洋,彭吉,&闫丰.(2013).超光滑加工中抛光液恒温供给系统设计与实现.电子测量与仪器学报(02),173-178. |
| MLA | 崔洋,et al."超光滑加工中抛光液恒温供给系统设计与实现".电子测量与仪器学报 .02(2013):173-178. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 超光滑加工中抛光液恒温供给系统设计与实现（824KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 请求全文 | |||
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