Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 离轴非球面零位补偿检验的三坐标装调技术 | |
李俊峰 ; 宣斌
| |
| 2013-11-15 | |
| 发表期刊 | 电子测量与仪器学报
 |
| 期号 | 11页码:1073-1079 |
| 摘要 | 在离轴非球面的零位补偿检验中,为了高精度地检测非球面参数,提出了应用三坐标测量的方法定位零位补偿检验检测光路。建立了应用三坐标测量装调零位补偿检验检测光路的物理模型,计算机求解被检镜的空间方位失调量,实现检测系统的辅助装调。以1个200 mm×100 mm矩形离轴非球面反射镜为例,进行了方法介绍和精度分析。该种方法采用统一坐标系下的绝对测量,唯一定位被检非球面的空间位置,避免位置耦合现象;应用三坐标测量被检非球面的离轴量、补偿器与被检镜之间的光学间隔的精度分别为0.036 mm和0.025 mm,其公差要求分别为±0.25 mm和±0.3 mm。因此,在1 m左右腔长的检测中,可以实现高于被检参数误差1个数量级的高精度检测,为获得正确的离轴非球面加工与检验提供了可靠的技术保障。 |
| 关键词 | 离轴非球面 零位补偿检验 三坐标测量 装调 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38436 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李俊峰,宣斌. 离轴非球面零位补偿检验的三坐标装调技术[J]. 电子测量与仪器学报,2013(11):1073-1079. |
| APA | 李俊峰,&宣斌.(2013).离轴非球面零位补偿检验的三坐标装调技术.电子测量与仪器学报(11),1073-1079. |
| MLA | 李俊峰,et al."离轴非球面零位补偿检验的三坐标装调技术".电子测量与仪器学报 .11(2013):1073-1079. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 离轴非球面零位补偿检验的三坐标装调技术.（424KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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