Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用表面等离子体共振传感器检测纳米间距 | |
王二伟; 鱼卫星; 王成; 卢振武
| |
| 2013-04-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 期号 | 02页码:259-266 |
| 摘要 | 结合物理光学原理和表面等离子体共振(SPR)角度传感器,提出了可以突破衍射极限的纳米间距检测方法。在理论上建立起纳米间距和位相改变量之间的函数关系,借助于SPR角度传感器的高灵敏性,提出通过检测出射光束振动方向的p分量和s分量的位相差值来实现纳米间距的实时检测。模拟结果显示:纳米间距改变量从-0.5～0.5μm变化时,位相改变量可实现-150°～150°的变化,检测灵敏度>1 nm。该检测方法能够实现10 nm以下间距的灵敏检测,且具有结构简单,易于操作,实时检测的特点。 |
| 关键词 | 表面等离子体共振(Spr)传感器 角度传感器 纳米间距 共振角度 位相差 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38325 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王二伟,鱼卫星,王成,等. 用表面等离子体共振传感器检测纳米间距[J]. 中国光学,2013(02):259-266. |
| APA | 王二伟,鱼卫星,王成,&卢振武.(2013).用表面等离子体共振传感器检测纳米间距.中国光学(02),259-266. |
| MLA | 王二伟,et al."用表面等离子体共振传感器检测纳米间距".中国光学 .02(2013):259-266. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 用表面等离子体共振传感器检测纳米间距.c（376KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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