Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
数控超光滑加工高次回转对称非球面镜 | |
刘健![]() ![]() ![]() ![]() | |
2013-08-10 | |
发表期刊 | 中国激光
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期号 | 08页码:253-259 |
摘要 | 为了实现高次回转对称非球面的全口径超光滑加工,对磨头的运动控制算法进行了研究。介绍了超光滑加工的基本原理以及相应数控机床的机构,并对其光学表面的创成方式进行了描述。为了精确控制磨头的运动轨迹,提出了非球面驻留点的等误差递推求解算法进而分析了轨迹误差。计算了磨头位于不同位置时去除率的分布情况,并建立了驻留时间数学求解模型。在自研设备上对口径为150mm,非球面度为116μm的样件进行了超光滑加工。表面粗糙度方均根值由1.523±0.045nm降低至0.399±0.0238nm且分布均匀。实验结果表明,利用该算法可以精确控制磨头的运动轨迹,从而保证表面粗糙度的均匀一致。 |
关键词 | 光学制造 超光滑表面 磨头控制算法 非球面 |
收录类别 | CNKI |
语种 | 中文 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38288 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘健,王绍治,张玲花,等. 数控超光滑加工高次回转对称非球面镜[J]. 中国激光,2013(08):253-259. |
APA | 刘健,王绍治,张玲花,&王君林.(2013).数控超光滑加工高次回转对称非球面镜.中国激光(08),253-259. |
MLA | 刘健,et al."数控超光滑加工高次回转对称非球面镜".中国激光 .08(2013):253-259. |
条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
数控超光滑加工高次回转对称非球面镜.ca(394KB) | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 |
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