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数控超光滑加工高次回转对称非球面镜
刘健; 王绍治; 张玲花; 王君林
2013-08-10
发表期刊中国激光
期号08页码:253-259
摘要为了实现高次回转对称非球面的全口径超光滑加工,对磨头的运动控制算法进行了研究。介绍了超光滑加工的基本原理以及相应数控机床的机构,并对其光学表面的创成方式进行了描述。为了精确控制磨头的运动轨迹,提出了非球面驻留点的等误差递推求解算法进而分析了轨迹误差。计算了磨头位于不同位置时去除率的分布情况,并建立了驻留时间数学求解模型。在自研设备上对口径为150mm,非球面度为116μm的样件进行了超光滑加工。表面粗糙度方均根值由1.523±0.045nm降低至0.399±0.0238nm且分布均匀。实验结果表明,利用该算法可以精确控制磨头的运动轨迹,从而保证表面粗糙度的均匀一致。
关键词光学制造 超光滑表面 磨头控制算法 非球面
收录类别CNKI
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38288
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
刘健,王绍治,张玲花,等. 数控超光滑加工高次回转对称非球面镜[J]. 中国激光,2013(08):253-259.
APA 刘健,王绍治,张玲花,&王君林.(2013).数控超光滑加工高次回转对称非球面镜.中国激光(08),253-259.
MLA 刘健,et al."数控超光滑加工高次回转对称非球面镜".中国激光 .08(2013):253-259.
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