Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统的研制及其应用 | |
刘洋; 余锦; 张雪; 貊泽强; 聂树真; 黄玉涛; 樊仲维; 陈波
| |
| 2013-05-10 | |
| 发表期刊 | 激光与光电子学进展
 |
| 期号 | 05页码:157-163 |
| 摘要 | 为了满足不同材料的精细加工需求,采用三波长皮秒激光器作为光源,配合自行设计的光学系统和控制系统,研制了三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统。该系统可使用任意一种、两种或三种激光波长进行同工作距加工,通过轴向色差补偿设计,实现轴向焦点补偿最大距离0.4mm,最小焦斑直径为3μm。初步探讨了该系统在微电子行业的应用,进行了铜电极板、手机屏的切割实验以及位置敏感阳极探测器图形的制作,实验证明该系统可满足多种材料的精细加工要求。 |
| 关键词 | 激光技术 三波长激光器 皮秒激光 精细加工 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38218 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘洋,余锦,张雪,等. 三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统的研制及其应用[J]. 激光与光电子学进展,2013(05):157-163. |
| APA | 刘洋.,余锦.,张雪.,貊泽强.,聂树真.,...&陈波.(2013).三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统的研制及其应用.激光与光电子学进展(05),157-163. |
| MLA | 刘洋,et al."三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统的研制及其应用".激光与光电子学进展 .05(2013):157-163. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统的研制（1513KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [刘洋]的文章 |
| [余锦]的文章 |
| [张雪]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [刘洋]的文章 |
| [余锦]的文章 |
| [张雪]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [刘洋]的文章 |
| [余锦]的文章 |
| [张雪]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论