Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光刻机投影物镜安装方式研究 | |
齐克奇
| |
| 2011-08-20 | |
| 发表期刊 | 光机电信息
 |
| ISSN | 1007-1180 |
| 卷号 | 28期号:8页码:22-26 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/3667 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 齐克奇. 光刻机投影物镜安装方式研究[J]. 光机电信息,2011,28(8):22-26. |
| APA | 齐克奇.(2011).光刻机投影物镜安装方式研究.光机电信息,28(8),22-26. |
| MLA | 齐克奇."光刻机投影物镜安装方式研究".光机电信息 28.8(2011):22-26. |
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