Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 18.2nm正入射显微成像系统滤光片的研究 | |
王占山; 马月英; 张俊平; 吕俊霞; 李哲 ; 曹健林
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| 1997-02-15 | |
| 发表期刊 | 真空科学与技术
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| 期号 | 01页码:12-18 |
| 关键词 | 滤光片 显微成像系统 软x射线 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32448 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王占山,马月英,张俊平,等. 18.2nm正入射显微成像系统滤光片的研究[J]. 真空科学与技术,1997(01):12-18. |
| APA | 王占山,马月英,张俊平,吕俊霞,李哲,&曹健林.(1997).18.2nm正入射显微成像系统滤光片的研究.真空科学与技术(01),12-18. |
| MLA | 王占山,et al."18.2nm正入射显微成像系统滤光片的研究".真空科学与技术 .01(1997):12-18. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 18_2nm正入射显微成像系统滤光片的研（255KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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