Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| MOCVD生长前的衬底处理实验研究 | |
| 刘国军; 徐莉; 王喜祥; 史全林; 张千勇 | |
| 1993-12-31 | |
| 发表期刊 | 长春光学精密机械学院学报
 |
| 期号 | 04页码:58-60 |
| 关键词 | Mocvd 衬底 表面形貌 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32425 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘国军,徐莉,王喜祥,等. MOCVD生长前的衬底处理实验研究[J]. 长春光学精密机械学院学报,1993(04):58-60. |
| APA | 刘国军,徐莉,王喜祥,史全林,&张千勇.(1993).MOCVD生长前的衬底处理实验研究.长春光学精密机械学院学报(04),58-60. |
| MLA | 刘国军,et al."MOCVD生长前的衬底处理实验研究".长春光学精密机械学院学报 .04(1993):58-60. |
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