Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| GaN 用衬底材料 LiGaO_2 晶体超精密抛光的初步实验 | |
谢伦; 高宏刚; 陈斌 ; 曹健林; 王建明; 刘琳
| |
| 1997-10-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 05页码:58-63 |
| 关键词 | 超精密抛光 表面粗糙度 聚氨酯 Ligao_2 Sio_2 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32424 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谢伦,高宏刚,陈斌,等. GaN 用衬底材料 LiGaO_2 晶体超精密抛光的初步实验[J]. 光学精密工程,1997(05):58-63. |
| APA | 谢伦,高宏刚,陈斌,曹健林,王建明,&刘琳.(1997).GaN 用衬底材料 LiGaO_2 晶体超精密抛光的初步实验.光学精密工程(05),58-63. |
| MLA | 谢伦,et al."GaN 用衬底材料 LiGaO_2 晶体超精密抛光的初步实验".光学精密工程 .05(1997):58-63. |
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