Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究 | |
沈蓓军; 王润文; 路敦武; 王立鼎; 梁静秋 ; 姚劲松
| |
| 1998-06-30 | |
| 发表期刊 | 功能材料与器件学报
 |
| 期号 | 02页码:55-59 |
| 关键词 | 激光光刻 微细加工 Liga工艺 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32179 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 沈蓓军,王润文,路敦武,等. KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究[J]. 功能材料与器件学报,1998(02):55-59. |
| APA | 沈蓓军,王润文,路敦武,王立鼎,梁静秋,&姚劲松.(1998).KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究.功能材料与器件学报(02),55-59. |
| MLA | 沈蓓军,et al."KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究".功能材料与器件学报 .02(1998):55-59. |
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