Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能 | |
| 郭玉彬; 李福田; 唐九华; 李加; 慎微; 杜涌兴 | |
| 1995-06-15 | |
| 发表期刊 | 光子学报
 |
| 期号 | 03页码:249-257 |
| 关键词 | 软x射线 近贴式 光刻胶 光刻术 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32029 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭玉彬,李福田,唐九华,等. 用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能[J]. 光子学报,1995(03):249-257. |
| APA | 郭玉彬,李福田,唐九华,李加,慎微,&杜涌兴.(1995).用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能.光子学报(03),249-257. |
| MLA | 郭玉彬,et al."用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能".光子学报 .03(1995):249-257. |
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