Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| LIGA 技术中的 X 射线掩膜 | |
梁静秋 ; 姚劲松; 王飞
| |
| 1997-03-30 | |
| 发表期刊 | 仪表技术与传感器
 |
| 期号 | 03页码:13-14+19 |
| 关键词 | Liga技术 掩膜 光刻 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31886 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋,姚劲松,王飞. LIGA 技术中的 X 射线掩膜[J]. 仪表技术与传感器,1997(03):13-14+19. |
| APA | 梁静秋,姚劲松,&王飞.(1997).LIGA 技术中的 X 射线掩膜.仪表技术与传感器(03),13-14+19. |
| MLA | 梁静秋,et al."LIGA 技术中的 X 射线掩膜".仪表技术与传感器 .03(1997):13-14+19. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| LIGA技术中的X射线掩膜.caj（46KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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