CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
离心式涂胶膜厚均匀性的影响因素分析
付永启; 赵晶丽
1996-04-30
发表期刊光学精密工程
期号02页码:94-97
关键词离心式涂胶 膜厚均匀性
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31520
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
付永启,赵晶丽. 离心式涂胶膜厚均匀性的影响因素分析[J]. 光学精密工程,1996(02):94-97.
APA 付永启,&赵晶丽.(1996).离心式涂胶膜厚均匀性的影响因素分析.光学精密工程(02),94-97.
MLA 付永启,et al."离心式涂胶膜厚均匀性的影响因素分析".光学精密工程 .02(1996):94-97.
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