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双光束尺寸检测仪的光电信号处理及其测量误差分析
李焕平
1990-12-31
发表期刊长春光学精密机械学院学报
期号04页码:37-42
关键词信号检测 误差分析 信号处理系统
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31305
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
李焕平. 双光束尺寸检测仪的光电信号处理及其测量误差分析[J]. 长春光学精密机械学院学报,1990(04):37-42.
APA 李焕平.(1990).双光束尺寸检测仪的光电信号处理及其测量误差分析.长春光学精密机械学院学报(04),37-42.
MLA 李焕平."双光束尺寸检测仪的光电信号处理及其测量误差分析".长春光学精密机械学院学报 .04(1990):37-42.
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