Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 软X射线投影光刻技术 | |
金春水 ; 王占山; 曹健林
| |
| 2000-09-25 | |
| 发表期刊 | 强激光与粒子束
 |
| 期号 | 05页码:559-564 |
| 关键词 | 软x射线 投影光刻 集成电路 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31273 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水,王占山,曹健林. 软X射线投影光刻技术[J]. 强激光与粒子束,2000(05):559-564. |
| APA | 金春水,王占山,&曹健林.(2000).软X射线投影光刻技术.强激光与粒子束(05),559-564. |
| MLA | 金春水,et al."软X射线投影光刻技术".强激光与粒子束 .05(2000):559-564. |
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| 软X射线投影光刻技术.caj（131KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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