Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| LIGA技术基础研究 | |
梁静秋 ; 姚劲松
| |
| 2000-02-29 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 01页码:38-41 |
| 关键词 | Liga技术 光刻 掩膜 电铸 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31250 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋,姚劲松. LIGA技术基础研究[J]. 光学精密工程,2000(01):38-41. |
| APA | 梁静秋,&姚劲松.(2000).LIGA技术基础研究.光学精密工程(01),38-41. |
| MLA | 梁静秋,et al."LIGA技术基础研究".光学精密工程 .01(2000):38-41. |
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