Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 极紫外投影光刻技术 | |
王占山; 曹健林; 陈星旦
| |
| 1998-04-23 | |
| 发表期刊 | 科学通报
 |
| 期号 | 08页码:785-791 |
| 关键词 | 极紫外 集成电路 光刻技术 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31231 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王占山,曹健林,陈星旦. 极紫外投影光刻技术[J]. 科学通报,1998(08):785-791. |
| APA | 王占山,曹健林,&陈星旦.(1998).极紫外投影光刻技术.科学通报(08),785-791. |
| MLA | 王占山,et al."极紫外投影光刻技术".科学通报 .08(1998):785-791. |
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| 极紫外投影光刻技术.caj（58KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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