Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| LIGA工艺探讨 | |
| 王志勤; 姚劲松; 宣明; 王一凡 | |
| 1993-12-27 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 06页码:67-70 |
| 关键词 | Liga工艺 X射线掩模 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31158 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王志勤,姚劲松,宣明,等. LIGA工艺探讨[J]. 光学精密工程,1993(06):67-70. |
| APA | 王志勤,姚劲松,宣明,&王一凡.(1993).LIGA工艺探讨.光学精密工程(06),67-70. |
| MLA | 王志勤,et al."LIGA工艺探讨".光学精密工程 .06(1993):67-70. |
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