Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 双光束激光扫描尺寸测量系统 | |
| 张国玉; 安志勇; 李成志; 高玉军 | |
| 1998-10-30 | |
| 发表期刊 | 半导体光电
 |
| 期号 | 05页码:38-41 |
| 关键词 | 激光扫描 双光束 直径 扫描光学系统 非接触测量 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30991 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张国玉,安志勇,李成志,等. 双光束激光扫描尺寸测量系统[J]. 半导体光电,1998(05):38-41. |
| APA | 张国玉,安志勇,李成志,&高玉军.(1998).双光束激光扫描尺寸测量系统.半导体光电(05),38-41. |
| MLA | 张国玉,et al."双光束激光扫描尺寸测量系统".半导体光电 .05(1998):38-41. |
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| 双光束激光扫描尺寸测量系统.caj（49KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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