Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 微电子机械系统中的压电薄膜微马达 | |
崔天宏; 王立鼎; 吕琼莹; 马建旭; 梁静秋
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| 1995-08-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 04页码:1-6 |
| 关键词 | 压电薄膜微马达 广义瑞利波 Ic工艺 微型机械 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30907 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 崔天宏,王立鼎,吕琼莹,等. 微电子机械系统中的压电薄膜微马达[J]. 光学精密工程,1995(04):1-6. |
| APA | 崔天宏,王立鼎,吕琼莹,马建旭,&梁静秋.(1995).微电子机械系统中的压电薄膜微马达.光学精密工程(04),1-6. |
| MLA | 崔天宏,et al."微电子机械系统中的压电薄膜微马达".光学精密工程 .04(1995):1-6. |
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