Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| Mo/Si多层膜的制备及X射线衍射表征 | |
| 李文明; 王煜明; 吕俊霞 | |
| 1998-11-15 | |
| 发表期刊 | 吉林大学自然科学学报
 |
| 期号 | 04页码:54-56 |
| 关键词 | 多层膜 X射线衍射线形分析 晶粒尺寸 位错密度 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30850 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李文明,王煜明,吕俊霞. Mo/Si多层膜的制备及X射线衍射表征[J]. 吉林大学自然科学学报,1998(04):54-56. |
| APA | 李文明,王煜明,&吕俊霞.(1998).Mo/Si多层膜的制备及X射线衍射表征.吉林大学自然科学学报(04),54-56. |
| MLA | 李文明,et al."Mo/Si多层膜的制备及X射线衍射表征".吉林大学自然科学学报 .04(1998):54-56. |
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| Mo_Si多层膜的制备及X射线衍射表征.（62KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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