Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一步湿法化学刻蚀硅微尖冷阴极 | |
王维彪; 金长春; 梁静秋 ; 姜锦秀; 刘乃康; 姚劲松; 赵海峰; 王永珍; 范希武
| |
| 1999-03-15 | |
| 发表期刊 | 发光学报
 |
| 期号 | 01页码:83-87 |
| 关键词 | 真空微电子 硅微尖 冷阴极 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30693 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王维彪,金长春,梁静秋,等. 一步湿法化学刻蚀硅微尖冷阴极[J]. 发光学报,1999(01):83-87. |
| APA | 王维彪.,金长春.,梁静秋.,姜锦秀.,刘乃康.,...&范希武.(1999).一步湿法化学刻蚀硅微尖冷阴极.发光学报(01),83-87. |
| MLA | 王维彪,et al."一步湿法化学刻蚀硅微尖冷阴极".发光学报 .01(1999):83-87. |
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