Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究 | |
| 刘传珍; 杨柏梁; 李牧菊; 吴渊; 张玉; 李轶华; 邱法斌; 黄锡珉 | |
| 2000-03-30 | |
| 发表期刊 | 液晶与显示
 |
| 期号 | 01页码:46-52 |
| 关键词 | P-si薄膜 激光退火 能量密度 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30653 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘传珍,杨柏梁,李牧菊,等. 激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究[J]. 液晶与显示,2000(01):46-52. |
| APA | 刘传珍.,杨柏梁.,李牧菊.,吴渊.,张玉.,...&黄锡珉.(2000).激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究.液晶与显示(01),46-52. |
| MLA | 刘传珍,et al."激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究".液晶与显示 .01(2000):46-52. |
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