Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用于测量微图形的高速机械扫描系统 | |
| 张二星; 阮锦; 赵军 | |
| 1994-06-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 03页码:80-84 |
| 关键词 | 微型机械 微图形 机械扫描 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30489 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张二星,阮锦,赵军. 用于测量微图形的高速机械扫描系统[J]. 光学精密工程,1994(03):80-84. |
| APA | 张二星,阮锦,&赵军.(1994).用于测量微图形的高速机械扫描系统.光学精密工程(03),80-84. |
| MLA | 张二星,et al."用于测量微图形的高速机械扫描系统".光学精密工程 .03(1994):80-84. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 用于测量微图形的高速机械扫描系统.caj（125KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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