Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
亚波长介质光栅的制作误差分析 | |
曹召良; 卢振武; 李凤有; 孙强; 任智斌; 赵晶丽 | |
2004-01-25 | |
发表期刊 | 光子学报 |
期号 | 01页码:76-80 |
关键词 | 亚波长 光栅 方向误差 面形误差 Rcwa 衍射效率 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30199 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹召良,卢振武,李凤有,等. 亚波长介质光栅的制作误差分析[J]. 光子学报,2004(01):76-80. |
APA | 曹召良,卢振武,李凤有,孙强,任智斌,&赵晶丽.(2004).亚波长介质光栅的制作误差分析.光子学报(01),76-80. |
MLA | 曹召良,et al."亚波长介质光栅的制作误差分析".光子学报 .01(2004):76-80. |
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