Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究 | |
| 曲炳郡; 刘晓鹏; 李路明; 王立鼎 | |
| 2002-01-15 | |
| 发表期刊 | 中国机械工程
 |
| 期号 | 01页码:35-38+4 |
| 关键词 | 形状记忆合金 薄膜 微型机电系统 冷轧 溅射 原子力显微镜 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30133 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曲炳郡,刘晓鹏,李路明,等. 用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究[J]. 中国机械工程,2002(01):35-38+4. |
| APA | 曲炳郡,刘晓鹏,李路明,&王立鼎.(2002).用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究.中国机械工程(01),35-38+4. |
| MLA | 曲炳郡,et al."用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究".中国机械工程 .01(2002):35-38+4. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究.c（166KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [曲炳郡]的文章 |
| [刘晓鹏]的文章 |
| [李路明]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [曲炳郡]的文章 |
| [刘晓鹏]的文章 |
| [李路明]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [曲炳郡]的文章 |
| [刘晓鹏]的文章 |
| [李路明]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论