Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 磁悬浮微进给机构电磁场研究 | |
| 杨秀华; 王延风; 卢志山 | |
| 2004-09-30 | |
| 发表期刊 | 电光与控制 |
| 期号 | 03页码:23-25 |
| 关键词 | Cad/cae 磁悬浮 直线电机 光刻机 有限元法 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30124 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨秀华,王延风,卢志山. 磁悬浮微进给机构电磁场研究[J]. 电光与控制,2004(03):23-25. |
| APA | 杨秀华,王延风,&卢志山.(2004).磁悬浮微进给机构电磁场研究.电光与控制(03),23-25. |
| MLA | 杨秀华,et al."磁悬浮微进给机构电磁场研究".电光与控制 .03(2004):23-25. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 磁悬浮微进给机构电磁场研究.caj（50KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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