Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 硅光栅的制作与应用 | |
鞠挥; 吴一辉 ; 王立鼎
| |
| 2002-02-25 | |
| 发表期刊 | 微纳电子技术
 |
| 期号 | 02页码:29-33 |
| 关键词 | 硅 光栅 微加工技术 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30016 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 鞠挥,吴一辉,王立鼎. 硅光栅的制作与应用[J]. 微纳电子技术,2002(02):29-33. |
| APA | 鞠挥,吴一辉,&王立鼎.(2002).硅光栅的制作与应用.微纳电子技术(02),29-33. |
| MLA | 鞠挥,et al."硅光栅的制作与应用".微纳电子技术 .02(2002):29-33. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 硅光栅的制作与应用.caj（444KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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