Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 球面旋涂光刻胶膜厚分布的数学模型 | |
冯晓国 ; 孙连春
| |
| 2005-07-20 | |
| 发表期刊 | 光学技术
 |
| 期号 | 04页码:489-490+493 |
| 关键词 | 光刻 旋涂 球面 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29861 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯晓国,孙连春. 球面旋涂光刻胶膜厚分布的数学模型[J]. 光学技术,2005(04):489-490+493. |
| APA | 冯晓国,&孙连春.(2005).球面旋涂光刻胶膜厚分布的数学模型.光学技术(04),489-490+493. |
| MLA | 冯晓国,et al."球面旋涂光刻胶膜厚分布的数学模型".光学技术 .04(2005):489-490+493. |
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| 球面旋涂光刻胶膜厚分布的数学模型.caj（41KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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