Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究 | |
王彤宇; 潘毓学; 吴一辉 ; 贾宏光
| |
| 2002-06-20 | |
| 发表期刊 | 兵工学报
 |
| 期号 | 02页码:228-230 |
| 关键词 | 微致动器 微力矩 非接触测量 微电子机械系统 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29831 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王彤宇,潘毓学,吴一辉,等. 微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究[J]. 兵工学报,2002(02):228-230. |
| APA | 王彤宇,潘毓学,吴一辉,&贾宏光.(2002).微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究.兵工学报(02),228-230. |
| MLA | 王彤宇,et al."微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究".兵工学报 .02(2002):228-230. |
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