Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 曝光量对计量光栅均匀性的影响 | |
| 陈赟 | |
| 2005-09-30 | |
| 发表期刊 | 长春理工大学学报
 |
| 期号 | 03页码:122-124 |
| 关键词 | 计量光栅 曝光量 黑白比 均匀性 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29829 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈赟. 曝光量对计量光栅均匀性的影响[J]. 长春理工大学学报,2005(03):122-124. |
| APA | 陈赟.(2005).曝光量对计量光栅均匀性的影响.长春理工大学学报(03),122-124. |
| MLA | 陈赟."曝光量对计量光栅均匀性的影响".长春理工大学学报 .03(2005):122-124. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 曝光量对计量光栅均匀性的影响.caj（209KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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