Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 电磁型平面微电机及其制作工艺 | |
郭占社; 吴一辉 ; 宣明; 王淑荣
| |
| 2003-04-25 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 02页码:120-124 |
| 关键词 | 平面微电机 Liga工艺 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29806 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭占社,吴一辉,宣明,等. 电磁型平面微电机及其制作工艺[J]. 光学精密工程,2003(02):120-124. |
| APA | 郭占社,吴一辉,宣明,&王淑荣.(2003).电磁型平面微电机及其制作工艺.光学精密工程(02),120-124. |
| MLA | 郭占社,et al."电磁型平面微电机及其制作工艺".光学精密工程 .02(2003):120-124. |
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