Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
离子辅助沉积掺铝氧化锌透明导电膜的研究 | |
初国强; 王子君; 刘星元![]() ![]() | |
2001-06-15 | |
发表期刊 | 液晶与显示
![]() |
期号 | 02页码:135-139 |
关键词 | 氧化锌 透明导电膜 离子辅助蒸发 电子束蒸发 氧化物半导体 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29751 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 初国强,王子君,刘星元,等. 离子辅助沉积掺铝氧化锌透明导电膜的研究[J]. 液晶与显示,2001(02):135-139. |
APA | 初国强,王子君,刘星元,&王立军.(2001).离子辅助沉积掺铝氧化锌透明导电膜的研究.液晶与显示(02),135-139. |
MLA | 初国强,et al."离子辅助沉积掺铝氧化锌透明导电膜的研究".液晶与显示 .02(2001):135-139. |
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