CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
相位扫描法制作变栅距光栅(英文)
时轮; 胡德金; 郝德阜
2004-11-30
发表期刊光电工程
期号11页码:35-38
关键词变线距光栅 相位扫描 亚纳米
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29698
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
时轮,胡德金,郝德阜. 相位扫描法制作变栅距光栅(英文)[J]. 光电工程,2004(11):35-38.
APA 时轮,胡德金,&郝德阜.(2004).相位扫描法制作变栅距光栅(英文).光电工程(11),35-38.
MLA 时轮,et al."相位扫描法制作变栅距光栅(英文)".光电工程 .11(2004):35-38.
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