Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 硅光栅技术 | |
栾光辉; 刘剑
| |
| 2002-08-25 | |
| 发表期刊 | 光机电信息
 |
| 期号 | 08页码:13-15 |
| 关键词 | 硅光栅:8344 衍射光栅:2782 各向异性刻蚀:2681 制作工艺:2002 光刻胶:1650 闪耀光栅:1645 微机械:1511 微细加工技术:1326 多晶硅:1050 反射光栅:922 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29449 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 栾光辉,刘剑. 硅光栅技术[J]. 光机电信息,2002(08):13-15. |
| APA | 栾光辉,&刘剑.(2002).硅光栅技术.光机电信息(08),13-15. |
| MLA | 栾光辉,et al."硅光栅技术".光机电信息 .08(2002):13-15. |
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| 硅光栅技术.caj（1040KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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