Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计 | |
| 李牧菊; 杨柏梁 | |
| 2002-04-08 | |
| 发表期刊 | 半导体学报
 |
| 期号 | 04页码:414-418 |
| 关键词 | 薄膜晶体管 热电子发射 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29409 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李牧菊,杨柏梁. 多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计[J]. 半导体学报,2002(04):414-418. |
| APA | 李牧菊,&杨柏梁.(2002).多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计.半导体学报(04),414-418. |
| MLA | 李牧菊,et al."多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计".半导体学报 .04(2002):414-418. |
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| 多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计（111KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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