Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 薄膜应力激光测量方法分析 | |
| 王成; 马莹; 张贵彦; 肖孟超; 甘志宏; 缪同群; 钱龙生 | |
| 2005-02-28 | |
| 发表期刊 | 激光技术
 |
| 期号 | 01页码:98-100 |
| 关键词 | 激光 薄膜 应力 测量 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29116 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王成,马莹,张贵彦,等. 薄膜应力激光测量方法分析[J]. 激光技术,2005(01):98-100. |
| APA | 王成.,马莹.,张贵彦.,肖孟超.,甘志宏.,...&钱龙生.(2005).薄膜应力激光测量方法分析.激光技术(01),98-100. |
| MLA | 王成,et al."薄膜应力激光测量方法分析".激光技术 .01(2005):98-100. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 薄膜应力激光测量方法分析.caj（101KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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