Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 6K6系列多轴运动控制器在微电子领域中的应用 | |
刘伟
| |
| 2002-04-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 02页码:176-181 |
| 关键词 | 激光调阻机 多任务实时控制器 电机驱动器 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28893 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘伟. 6K6系列多轴运动控制器在微电子领域中的应用[J]. 光学精密工程,2002(02):176-181. |
| APA | 刘伟.(2002).6K6系列多轴运动控制器在微电子领域中的应用.光学精密工程(02),176-181. |
| MLA | 刘伟."6K6系列多轴运动控制器在微电子领域中的应用".光学精密工程 .02(2002):176-181. |
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