Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展 | |
董吉洪 ; 田兴志; 李志来; 王明哲
| |
| 2004-05-25 | |
| 发表期刊 | 光机电信息
 |
| 期号 | 05页码:20-24 |
| 关键词 | 光刻机 工件台 掩模台 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28421 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 董吉洪,田兴志,李志来,等. 100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展[J]. 光机电信息,2004(05):20-24. |
| APA | 董吉洪,田兴志,李志来,&王明哲.(2004).100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展.光机电信息(05),20-24. |
| MLA | 董吉洪,et al."100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展".光机电信息 .05(2004):20-24. |
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| 100nm步进扫描投影光刻机工件台_掩模（666KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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